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创建于 1995 年的美国Filmetrics, Inc. 公司,以提供简单而价格合理的薄膜厚度测量仪器为宗旨。 在我们进入这个市场之前,商业薄膜测量仪器动辄就要 $50,000 美元或更多,而且操作人员需要预先接受培训。 单次测量就要花几分钟,甚至几小时时间。
Filmetrics的目标就是设计经济有效的微型光谱仪系统,而硅控线型光电传感器技术的最新发展使这一目标得以实现。我们把先进的技术、软件、和丰富的薄膜经验结合在一起,创造出了简单而直观的 Windows 界面。 其成果就是 F20,这是一种很简洁的系统,具有令人惊异的速度和准确性,生产操作人员只需要几分钟培训即可使用仪器 – 而所有这一切只有传统仪器几分之一的价格。
我们的成就已经获得了业内新闻界的广泛承认,我们的产品被评为 “100 种最具技术意义”的产品之一和年度“25 项最佳新产品”之一。
我们的产品包括:
F10-AR 测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件。
F10-HC 测量硬涂层和防雾层厚度和折射率。 聚碳酸酯硬涂层在汽车和其他工业内的应用是很普遍的。
F10-PA 我们提供对聚对二甲苯厚度的测量。
F10-VC 可同时测量反射率和透射率。 我们可以提供测量厚度和折射率的可选件。 普遍应用于真空涂层领域。
F20 应用于全世界数千种用途。 具有广泛的附件和波长覆盖范围。
F20-XT 用于较厚的薄膜 – 某些情况下可达 0.5mm。普遍使用于测量硅基薄化的领域。
F30 在线检测金属有机化学气相沉积、阴极溅镀和其他沉积工艺中反射率、厚度和沉积率。
F37 在线薄膜测量仪器,最多能支持七个探头。
F40 可固定到您的显微镜上来测量小至 2.5 um 光斑的厚度和折射率。
F42 完整的 2-D 厚度显微测绘系统。
F50 在我们的 F20 系列产品上增添了自动测绘能力。以每秒钟 2 个点的速度测绘厚度和折射率。
F50-XY-450 用于测绘直径大于 300mm 的晶圆。
F60-t 满足生产环境的台式测绘系统,包括自动基准确定、凹槽定位、全封闭测量平台以及其它装置。
F80-t 满足生产环境的产品晶圆台式测绘系统,21 秒内能测量 15 个点。
F80-c 在 F80-t 的基础上加入晶圆自动传输。 可以测量大到 300mm 的晶圆。
F80-a 配备晶圆分类输送的自动测绘系统。 支持大到 300mm 的晶圆。



